中國最新曝光機無法多重曝光 28奈米仍難實現
- 梁燕蕙／綜合報導
喧騰多日的中國最新本土DUV曝光機熱議，此前不少中國網友一看到核心參數解析度≤65奈米，覆蓋精度（overlay）≤8奈米，就認為這是8奈米曝光機，此種說法近來已被打臉，所言不實。另一方面，這一款中國國產DUV曝光機，...
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