中國最新曝光機無法多重曝光 28奈米仍難實現
- 梁燕蕙/綜合報導
喧騰多日的中國最新本土DUV曝光機熱議,此前不少中國網友一看到核心參數解析度≤65奈米,覆蓋精度(overlay)≤8奈米,就認為這是8奈米曝光機,此種說法近來已被打臉,所言不實。另一方面,這一款中國國產DUV曝光機,...
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