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當機械成為良率關鍵:先進封裝時代的運動控制系統工程思維

先進封裝帶來了與封裝設備內部機械相關的新製程瓶頸。隨著對準公差從微米壓縮到數十奈米,運動平台不再是後台自動化設備,而是成為良率關鍵的基礎設施。以前遠低於封裝製程敏感度的變異:振動、熱漂移、機械順應
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