Canon KrF掃描式曝光機睽違14年大更新 吞吐量衝高3成劍指ASML
- 江仁傑／綜合報導
日本Canon宣布將於2026年12月上旬推出氟化氪（KrF）掃描式曝光設備。生成式AI帶動的半導體多層結構，導致的晶圓翹曲和變形現象顯著，該項新設備能夠處理翹曲嚴重的晶圓，並高精度地疊加各層的電路圖案。Canon希望藉此抵禦競爭對手ASML的壓力。
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