中國EUV光源原型機亮相 90%零組件國產化、商用仍待突破
- 徐畇融／綜合外電
中國半導體設備新創朗道燧岩（上海）科技有限公司（簡稱朗道科技）日前公開一台極紫外光（EUV）光源機的原型機FlintNano LPP-OXXO。EUV光源機在先進微影系統設...
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