High-NA EUV接班人浮現 ASML Hyper NA挑戰5奈米單次曝光
- 梁燕蕙／綜合報導
ASML與光學合作夥伴蔡司（Zeiss）的工程師團隊，近日於學術期刊《Journal of Micro/Nanopatterning, Materials and Metrology》10月號共同發表研究論文，正式揭露...
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