半導體廠務邁向預測式管理 科勝串起AVEVA工業數據
- 黃女瑛/台北
隨著半導體製程邁向2奈米以下,3D IC與先進封裝提高對製造環境穩定度的要求,電力、超純水、真空及無塵室潔淨度等廠務參數一旦異常,都可能影響晶圓良率。科勝結合AVEVA工業數據平台與系統整合能力,協助半導體業者將廠務管理由被動監控、事後維修,推向資料整合與...
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