科技1分鐘:光阻劑(Photoresist)
- 何致中
半導體用光阻劑(Photoresist)是一種對光敏感的高分子材料,用於晶圓製程中微影製程(Lithography)的關鍵步驟,被譽為晶片製造的「畫筆」。其主要功能是在晶圓表面形成一層可曝光、顯影並移除的薄膜,透過光罩(Mask...
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