科技1分鐘：準分子雷射退火（ELA）
- 陳至嫻
準分子雷射退火（Excimer Laser Annealing；ELA）是製造低溫多晶氧化物（LTPO）薄膜電晶體（TFT）的關鍵製程。LTPO則是高階OLED面板常用的背板技術，脫胎自如今應用廣泛的LTPS，不過其驅動TFT電晶體改採銦鎵鋅氧化物...
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