俄羅斯揭自研EUV三階段藍圖 欲藉非ASML架構自給自足
- 李佳翰／綜合報導
俄羅斯科學院微結構物理研究所（The Institute of Microstructure Physics of the Russian Academy of Sciences；IMPRAS）近日公布自研極紫外光（EUV）曝光機的長期研發藍圖，計劃開發操...
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