Takano亮相SEMICON Taiwan 展示先進晶圓檢測技術
在晶圓製造及後端測試與封裝過程中,晶圓表面檢測設備能有效發現缺陷、微粒污染與其他可見問題,確保產品符合嚴格的品質標準。日本知名檢測設備製造商Takano將參加SEMICON Taiwan 2025(南港展覽館一館4F,攤位N1383),展示廣受好評的WM系列檢測設備,為台灣晶圓廠提供高效解決方案。
Takano深耕台灣20年,在檢測領域更擁有30年以上經驗。憑藉成熟的設備與專業團隊,並與在地廠商建立緊密合作,能依產線需求提供客製化檢測系統,協助企業提升競爭力。WM系列具備高靈敏度與多尺寸晶圓檢測能力,適用於裸晶圓與塗佈晶圓,廣泛應用於半導體產業。
其主要特色包括:1.偵測48奈米至5微米的顆粒、刮傷等缺陷。2.支援製程控制、新產線建立、出貨前與入廠檢測、研發應用。3.WM-10R可依需求支援FOUP、Open Cassette或SMIF Port。
WM系列不僅具備高效能與高性價比,採用雷射二極體技術與穩定光學設計,有效降低維護成本並保持檢測精準度;輕巧的機台設計亦能節省產線空間。同時,系統配備自動晶圓校正與直觀軟體介面,讓使用者能快速上手。無論是從舊系統轉換,或首次導入WM系列,皆能順暢操作。
Takano在全球擁有超過800台的安裝實績與完整的技術支援網路,於台灣亦設有據點,為台灣客戶提供從需求溝通到後續維護的一站式服務,確保設備長期穩定運行。
Surf-scan無圖形晶圓表面汙染分析服務
除了檢測設備方案外,Takano台灣子公司台灣鷹野亦提供晶圓表面汙染量測服務,專為不需頻繁使用檢測設備的客戶而設計。為就近服務在地客戶,我們已於2024年在台中事業所導入最新機型WM-7SR,並由原廠技術人員操作測試,確保專業與可靠。
此服務具備成本低廉、交期彈性、數據化呈現等優勢,同時支援多種材質晶圓(如Si、GaAs、InP、Film Wafer)的表面掃描。
若您有單次量測需求,誠摯邀請蒞臨Takano攤位(南港展覽館一館4F No.N1383)洽詢,我們將安排專人為您詳細說明。
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