自信「領先業界至少3年」 MetaOptics押寶150nm直寫技術
- 舒能翊／桃園
在微奈米製造領域，關於奈米壓印（NIL）與半導體微影的討論從未停止。MetaOptics創辦人程章金（Mark Thng）在與DIGITIMES訪談中充分說明「押寶」150nm直寫技術的原因。程章金說明，若要追求200nm以下的極致精...
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