AI驅動半導體良率革新 金兆益引領微污染監測新標竿
陳杰/新竹
隨著半導體進入先進製程,半導體廠對於製程環境污染的寬容度已趨近於零。在先進製程中,空氣中分子汙染物(AMC)已成為威脅良率最致命的「隱形殺手」。即使是分子級的雜質污染,皆有可能讓單片價值數萬美元晶圓遭受良率損失。
在此嚴苛背景下,金兆益科技(New Fast Technology)憑藉專業分析技術的底蘊與領先業界的AI智慧化監測系統,全面定義產業新標竿。該公司以領先業界的微汙染監測技術為基礎,將協助客戶製程良率的提升做為最高使命,提供控管晶圓生產過程中,全廠微污染風險管理優化的決策建議,成為客戶在先進製程擴產路上最穩定的技術戰友。
從實驗室到在線監測:化解良率管理的時滯性風險
金兆益科技自 2006 年跨入半導體微汙染自動化檢測領域,適逢半導體電晶體製造關鍵的技術的重要轉型期,也就是產業製造從40奈米邁入28奈米節點的時刻。
金兆益敏銳察覺到傳統「離線式實驗室檢測」的侷限性,因為在先進製程中,傳統實驗室檢測往往存在嚴重的「時滯性風險」(Time-lag Risk)—當污染事件發生後,樣品需傳送至實驗室進行前處理與分析,往往需耗時數天才能產出報告;然而,對於高通量的晶圓廠而言,數天的資訊延遲意味著可能有數千片晶圓已暴露在風險環境中。
為了縮短從「發現異常」到「採取干預」的時間窗口,金兆益將需要仰賴高技術人才方能進行的精密「實驗室分析技術」,發展成自動化「在線監測設備(Online Monitoring System)」,實現了實時數據監控與即時介入,成功協助客戶即時監控先進製程的製程環境,管理及排除環境污染風險,進而確保製程的高良率。
Total Solution:覆蓋半導體關鍵製程全環節
目前金兆益的 Total Solution 範疇已完整覆蓋半導體關鍵製程環境及製程材料風險管理,建構完整良率防護網:
環境監測 (Environment):半導體製程環境監測 —即時追蹤無塵室環境中與機台內部的微污染化學分子動態,防堵交叉污染風險。透過高精度感測技術,在分子級層次掌握環境變化,確保製程環境維持在嚴格的潔淨標準之內。
製程材料風險管理 (Materials):大宗/特殊氣體監測、電子化學/特用化學品檢測—嚴格控管供應端原物料,確保製程材料符合嚴苛的微汙染風險管控標準。
產品故障分析 (Products):晶圓表面微污染故障分析—針對晶圓表面進行分子級的殘留分析,提供最具專業性的檢測指標,透過全球首創的晶圓表面有機微污染監測技術,精準捕捉影響良率的關鍵污染源。
這套演進路徑不僅是檢測技術的自動化,更是將複雜的化學分析轉化為穩定的微汙染監測指標,為客戶大幅提升了製程控管的透明度。
AI 智慧導入:數位化專家經驗 破解高階人才荒
當前半導體產業正面臨空前的人力匱乏挑戰,特別是具備深厚化學背景與精密分析技術的高階工程師極度短缺。金兆益科技深刻理解到,若設備操作與數據判讀仍依賴少數頂尖人才的「主觀經驗」,將成為擴產時的技術瓶頸。因此,公司全面導入AI智慧化功能,旨在實現「經驗數位化」與「操作親民化」。
一鍵式智動操作
透過AI 驅動系統,設備具備了「一鍵式啟動(One-button start)」與「自動化無人取樣」功能。過去需要分析專家精確調校的取樣流量、壓差及化學預處理流程,現在皆由 AI 自動優化。這意味著,即便是一線的生產操作人員或非化學背景的人員,只需將樣品放入並按下按鈕,系統即可自動完成從0到100的全流程分析報告。
智慧數據品質判定
更具戰略價值的是 AI 在「數據可用性判定(Data Usability Determination)」上的突破。系統能自動過濾環境噪訊,並針對監測結果進行統計學上的合理性分析,自動排除異常偏誤值。這種設計有效地將過往需依賴資深化學家主觀判斷的「判讀經驗」轉化為精準的演算邏輯,不僅解決了高階技術人才不足的痛點,更消除了因人為判斷誤差導致的決策失誤,確保了檢測數據的絕佳可靠性。
全球首創:攻克晶圓微污染故障分析
在SEMICON Taiwan 2025展會中,金兆益再度展現技術領導實力,發表了多項極具破壞式創新的產品。其中最受產業界關注的,莫過於標榜「全球首發」的「晶圓表面有機微污染監測(Wafer Surface Organic Trace-contamination Monitoring)」技術。
相較於無機離子或金屬污染,有機揮發性物質(VOCs)在先進製程中極難偵測且具揮發不穩定性,是造成光阻缺陷與接觸面氧化層不均的元兇。金兆益的技術突破在於能直接、即時地捕捉晶圓表面的有機分子動態,提供比傳統間接監測更具指導意義的數據。同時,公司推出的「實驗室自動化檢測機器人」,透過自動化機械手臂執行高重複性、高繁瑣度的檢測工作,將化學家與科學家從單調的勞務中釋放,使其能更專注於高價值的製程數據解讀與製程改善策略,進一步加速了研發端與量產端的協同效率。
ESG 綠色競爭力:精準生產下的減碳與減廢策略
除了在技術前端追求卓越,金兆益亦展現了對企業社會責任與永續發展的深度布局。公司近年接連榮獲「國家品牌玉山獎」與「ESG 華人企業永續大獎」,體現其在營運體系與環境友善上的卓越成就。
從 ESG 的專業視角來看,金兆益的精密在線監測設備是實現「綠色製造」的核心工具,透過極微量汙染監測技術做到前端材料風險管控,有效預防因製程偏差導致的「晶圓廢片」產生,從根源上節省能源消耗與物料成本。
精準判斷濾網壽命 落實循環經濟精神
在半導體廠的日常營運中,化學濾網(Chemical Filter)是維持潔淨室空氣品質的關鍵耗材。然而,傳統作法往往基於「保守性時間排程」定期更換濾網,這種「寧可提前、不可延遲」的邏輯雖降低了風險,卻也造成了大量仍具使用效能的濾網被提前報廢,違背了循環經濟的永續原則。
金兆益的微污染監測技術,能夠即時、精準地監控濾網的實際飽和狀態,確保濾網在「確實失效」時進行更換,「從時間驅動轉向數據驅動」的管理模式,不僅避免了過早更換造成的資材浪費,延長了濾網的有效使用壽命,實質降低了耗材採購成本與廢棄物產生量。
這種透過「智慧監測」帶動「精準生產」的模式,正是半導體供應鏈在達成碳中和目標過程中不可或缺的綠色競爭力。在半導體產業追求技術領先的同時,ESG永續目標已不再是選項,而是必答題。金兆益科技透過專業技術所展現的是半導體產業綠色轉型的具體路徑—從每一個監測數據開始,累積成整個供應鏈的永續之路。
SEMICON China 2026 登場—NEW Standard(創新標竿) FAST Innovation(極速突破)
從 2006 年起始的技術深耕,到如今展現以 AI 驅動微污染檢測智動化的成果,金兆益成功完成了從化學技術專家到「微污染自動監測標準制定者」的轉身。面對下一個十年的製程演進,公司將以「全球半導體微汙染監測領導品牌」的硬實力,持續作為全球先進製程品質穩定的核心動能。
金兆益科技即將於 SEMICON China 2026 (Hall E6,攤位號碼:6762)展出,本次亮點鎖定先進製程最關鍵的「風險控管」與「全面監測」兩大需求,重磅推出 。包含業界首創的「備援互補式製程材料痕量污染監測系統」以及「全AMC微污染同步監測設備」,再次創造監測新標竿,展現解決客戶「產能痛點」上的絕對效益,成為半導體良率守護者以及客戶最信賴的製程卓越戰略夥伴。







