科技1分鐘：無塵室ISO 14644-1分級
- 許經儀
ISO 14644-1（簡稱ISO Class）為目前國際上最通用的晶圓廠（Fab）的無塵室標準，以「每立方公尺的空氣中，0.1~5微米間的特定懸浮微粒的最大允許濃度」來分級。該標準將潔淨度劃分為ISO Class 1至ISO Class ...
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