台積製程升級與舊廠改建雙軌並進 2奈米訂單爆量忙覓地建廠
- 陳玉娟／台北
台積電持續活化現有8吋、12吋90奈米製程以上晶圓廠，據半導體設備業者透露，台積竹科6吋（Fab 2）與竹科8吋廠（Fab 3/5/6/8）已著手改建大計，目前除用於CoWoS、CoPoS等先進封裝外，同時也將建置自製EUV光罩護膜（Pellicle）產線，全...
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