科技1分鐘：美國新創xLight聚焦微影雷射光源
- 許經儀
美國新創公司xLight成立於2021年，主要聚焦半導體先進微影雷射光源，核心研究為自由電子雷射（Free-Electron Laser；FEL），目標取代曝光機內建的極紫外光（EUV）光源。據xLight說明，其原理是以粒子加速器加...
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