科技1分鐘：EUV靈魂之光──蔡司（Zeiss）
- 陳至嫻
談到製造先進晶片的極紫外光（EUV）微影設備，多數人首先想到的是荷蘭業者ASML；但真正決定光線能否精準刻劃奈米世界、支撐EUV走向量產的關鍵，卻是德國光學大廠蔡司（Zeiss）。作為ASML EUV光學系統的獨家供應商，A...
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