科技1分鐘：半導體化學濾網
- 許經儀
半導體先進製程持續推進，氣態分子汙染物（Airborne Molecular Contamination；AMC）一直是製造過程中無法忽視的威脅，污染源一旦汙染廠房甚至機台設備，不僅可能腐蝕設備、改變產品電性，嚴重更影響半導體良率。為有效控...
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