上海微電子奪下曝光機標案 ASML優勢仍難撼動
- 黃瓊文／綜合報導
近期一則中國政府採購網公示揭露上海微電子設備（SMEE）中標一台步進式掃描曝光機，成交金額約人民幣1.09億元，招標方則是中國科技部，引發市場對中國曝光設備自主化進程的高度關注。顯示中國正在成熟與特色製程設備上持續「補位」。目前全球曝...
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