科技1分鐘：氦氣為何成為半導體關鍵材料？
- 張庭瑜
氦氣（Helium）是一種無色、無臭、無味、無毒的惰性氣體，也是半導體製造不可或缺的重要工業氣體。由於化學性質穩定、導熱效率高且分子體積小，氦氣廣泛應用於晶圓製程冷卻、真空設備氣體測漏等關鍵環節，在半導體先進製程中，目前在先進製程中仍缺乏能完全取代的成熟方案。
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