科技1分鐘：前開式晶圓傳送盒（FOUP）
- 許經儀
前開式晶圓傳送盒（Front Opening Unified Pod；FOUP）是半導體無塵室中承載、傳送與儲存矽晶圓的專用容器，主要隔絕微塵污染並確保晶圓定位精確。FOUP自1990年代中期隨著12吋晶圓設備問世，而FOUP的標...
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