科技1分鐘：微機電系統（MEMS）
- 林廷宇
微機電系統（Micro Electro Mechanical Systems；MEMS）結合半導體製程與精密機械設計，可將感測器、致動器及電子電路整合於單一晶片或微型元件中，兼具微型化、低功耗與高整合度等優勢，已成為半導體與高階感測應用的重要技術之一。
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