緊追ASML腳步？！中國自研DUV曝光機的「虛實」
- 梁燕蕙／綜合報導
中國網友近來熱議中國工信部披露的新款本土深紫外光（DUV）曝光機的消息，一時之間，謠傳中國已開發出8奈米曝光機，甚囂塵上。究竟事實為何？工信部披露的這項所謂的技術自主突破，又與曝光機龍頭ASML差距多大？值得一探「虛實」。難不成9...
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