協助半導體廠從節能到良率　展綠科技揭示能源數據的製程價值

在半導體製造產線中，每一台關鍵設備的能耗行為，都可能是良率穩定與成本控制的關鍵。電壓的細微波動、瞬時諧波的干擾，甚至毫秒級的電流異常，都足以導致溫度曲線漂移，進而影響製程品質。傳統能源監控系統往往只能在「節能」的架構下發揮作用，但隨著製程精度提升與能源品質要求升高，單純的節電已不足以應對半導體產業的挑戰。

從節能到良率：能源數據的價值重塑

過去，能源監控多聚焦於降低耗電與契約容量；如今，能源數據的價值已延伸至製程優化與良率管理。
RTP快速升溫製程案例：在某國際半導體大廠客戶的RTP設備中，展綠發現機台1在退火階段的電力趨近於零、升溫幅度異常大。這種異常雖不會立即造成停機，但長期會影響製程穩定性與良率。透過分析與優化控制策略，該客戶成功穩定了升溫曲線，減少了次級品比例。

半導體供應商陶瓷燒結爐案例：客戶的陶瓷燒結爐在降溫階段電力消耗異常升高，展綠透過能耗與溫度的關聯分析，發現長期存在的加熱浪費與品質瑕疵原因。優化降溫程序後，產品良率顯著提升，能源浪費也同步降低。

Level 5的突破：深入子系統的精細診斷

業界大多數能源監控僅止於Level 4（設備端），展綠則能延伸至Level 5（模組端）。這意味著，不僅能監測整台設備總能耗，更能追蹤清洗艙、真空泵、循環泵等子系統的行為。其價值在於：1.精準定位異常來源，縮短診斷時間2.避免「小病大修」或維修延誤3.透過跨製程比較，逐步建立標準化的能源行為數據。

非侵入式部署：快速啟動POC

展綠的智慧鉤表與感測器能在不停機、不斷電、免拉線的情況下安裝，並支援無線傳輸與自動充電，協助半導體廠在零中斷的情況下完成升級，並於短期內驗證POC效益。

能源數據即服務：AI持續學習

展綠將能源數據視為長期重要資產，透過AI模型持續優化識別能力。隨著數據量的累積，系統的預測精度不斷提升，形成「數據網效應」，使後續導入的同廠設備能直接受惠於前期經驗。這正是半導體產業在「數據乾淨度」高度挑戰下的最佳解方。

展綠已成為諸多國際半導體大廠的合格供應商，並與多家製造技術研發中心合作，在產線中持續測試新技術；同時也與廣運機械、聯華電子、美商美光、崇越科技、世界先進、日月光、風行天與李長榮化工等夥伴攜手，擴大數據採集範圍，逐步建立跨機台、跨製程的行為數據標準，樹立產業新標竿。

未來，展綠將持續擴大設備數據蒐集、深化AI行為模型，並整合ESG與碳足跡管理，協助客戶符合ISO 50001與SEMI S23等國際標準，因應歐盟CBAM與台灣碳費等政策。

在節能減碳成為全球半導體必修課的時代，展綠科技證明能源監控已不只是「省電工具」，而是提升產能、良率與永續競爭力的核心系統；當能源數據與AI結合，每一度電將不再只是費用和碳排，而是轉化為驅動產業升級的智慧引擎。

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