展綠科技SEMICON重磅登場　以AI建立製程行為模型引領半導體能源管理新思維

展綠產品具備的優勢與特色，能夠符合精密、大量與24小時連續生產的高階製造業需求。展綠科技

在全球半導體產業持續追求更高精度與更高良率的今天，每一次設備運轉的細微變化，都可能是產線穩定與成本控制的關鍵。長期以來，能源監控系統被視為「節能工具」，但隨著製程複雜度和能源品質要求的提升，單純的節能已不足以應對半導體製造的挑戰。

展綠科技（3Egreen）於2025年台灣國際半導體展宣布新定位，從能源監控方案提供者升級為半導體製程能源行為數據解碼師。他們聚焦於擴大參數、提升量測精度及AI模型輔助，引領產業邁向能源可視化和製程優化新階段。

為什麼半導體需要新的能源監控思維？

在晶圓廠的生產現場，一台關鍵製程設備的異常，可能意味著數百萬美元的損失。不論是RTP（快速升溫製程處理）、磊晶設備、蝕刻機、真空爐，還是陶瓷燒結爐，這些設備的運轉穩定性都深受能源品質影響。電壓微幅波動、瞬時諧波干擾、非預期的電流異常，都可能導致溫度曲線偏差、製程參數漂移，最終影響良率。

傳統能源監控系統往往存在三大痛點：首先是安裝總成本高、施工時間長，需要佈線、停機與改裝，對產線運行影響甚鉅；其次是監控深度不足，多數僅能監測到設備端（Level 4），難以深入子系統（Level 5）；最後則是資料孤島化，秒級數據無法即時整合進製程系統，因而難以支援即時決策。

展綠科技的出現，正是為了突破這些限制，讓能源數據不再只是紀錄，而能真正成為製程優化的關鍵武器。

三大技術躍進  直擊製程痛點

展綠針對半導體製造的需求，推出了三項核心技術升級：1. 擴大參數範圍（Energy Meter、DC全覆蓋）：半導體設備的供電規格多樣，從高壓交流電源到直流的特殊電路皆有應用。新一代展綠感測模組一樣不需停機斷電，可全面支援電壓、電流、功因與諧波範圍，確保在不同製程環境下皆能精準監測各項參數。

2. 提升量測精度（每秒一萬次取樣）：高速製程對能源品質的敏感度極高。展綠將取樣頻率提升至每秒10,000次，足以捕捉到毫秒級的能耗波動，從而揭露瞬間發生的電流衝擊、電壓衰減或諧波異常，讓工程團隊及時介入。

3. AI設備行為模型（結合NVIDIA設備）：展綠自研的AI行為模型能夠即時分析能耗曲線、溫度與負載變化，建立「設備健康檔案」。透過與NVIDIA Jetson Nano的邊緣運算能力結合，系統可在現場即時運算，提前發出異常預警，並建議維護時機，避免突發停機。

從節能到製程優化  展綠邀您SEMICON親身體驗

展綠科技此次展出的非侵入式能源監控方案，專為半導體廠區的高精度製程需求設計，具備不停機安裝、無線傳輸與自動充電的特性，能在不影響產線運作的情況下快速部署。該方案結合靈活的感測技術與即時數據回傳能力，協助客戶以零中斷的方式升級能源監控系統，並在短期內完成POC驗證。

展綠科技透過智慧鉤表與感測模組的整合，為產線帶來高效能、低干擾與快速落地的解決方案，清楚展現能源數據在半導體製程中的即時應用價值，並進一步支持企業在良率穩定、維護優化與能源管理上的升級。

展綠科技誠摯邀請所有參觀者與合作夥伴於2025年9月10至12日，蒞臨SEMICON Taiwan展位（南港展覽館一館，展綠科技 R7705 攤位），親身體驗最先進的能源數據監控技術，感受從節能走向製程最佳化的智慧轉型之路。

欲了解更多關於展綠科技的解決方案，歡迎造訪官方網站或填寫表單預約洽談。