Mecal High-Tech Systems 微影設備及晶圓廠防震技術解決方案

Mecal High-Tech Systems是一家瞄準半導體設備高精密度的機台、光學量測機台的防震、屏蔽（Shielding）技術的高階工程系統公司，Mecal透過與客戶共同開發，一舉掌控精密高階設備內外的關鍵條件，發展與擁有自己的智慧財產權和OEM產品為其提供產品與服務的基礎。舉重要的「極紫外光（EUV）微影技術」為例，由於EUV機台使用高度精確的光學微影技術，精準度到達奈米等級的技術，必須透過完整的防震系統的設計才能滿足EUV正常運作，達到高生產良率的需求，所以只要購買EUV機台的半導體客戶，都成為Mecal High-Tech Systems重要的目標客戶。

該公司所提供的服務包括問題分析、顧問諮詢、工程設計、技術研發與安裝部署解決方案。並整合尖端技開發工程解決方案並為客戶創造最佳化的經濟價值，例如提高生產良率以創造重要營收的價值，還進一步實現下一代技術的複雜生產。

目前隨著EUV等高階半導體晶圓廠設施與所在地的外在環境影響，通常對於震動極為敏感EUV機台都需要有應對的解決方案，目前該公司在EUV機台提供設計一個防震動的平台與技術，從設計與安裝的每一個環節都需要Mecal High-Tech Systems工程團隊的專家做好詳細規劃，該公司目前擁有超過170位被客戶認證為五星級高級專業工程師，並在包括荷蘭、美國、南韓、日本等地成立服務據點。

基本上該公司的策略就是攜手客戶解決工程難題，並透過接近客戶以就近掌握問題的核心，以台灣的晶圓廠大客戶為例，Mecal High-Tech Systems會跟著客戶的腳步前進到EUV技術部署的全球據點，解決當地生產環境的問題，讓客戶的全球化布局可以移轉技術到不同區域生產，創造合作互惠的商機。

這次參展的目的，Mecal High-Tech Systems主要著眼於擴張在台灣市場的能見度，該公司認為台灣半導體產業的製造廠商可以因為Mecal High-Tech Systems的技術而改善生產良率，解決製程機台在震動上所造成的問題，隨著半導體晶片愈來愈大也愈精密，防震動的技術挑戰也水漲船高，他們以35年所累積的產業經驗與技術能力，希望在高精密度生產、光電系統與先進封裝系統上扮演解決問題的人，以及找尋適當的合作夥伴與客戶，為半導體等高科技產業開創新價值。