鋒霈環境科技研究氟元素回收再利用 落實城市礦山理念

鋒霈環境科技研發氫氟酸廢液轉製冰晶石，降低環境風險。鋒霈環境科技

在環保科技的領域中，鋒霈環境科技股份有限公司（以下簡稱為鋒霈環境科技）已取得顯著的成果。該公司以水務系統為基礎，朝向循環經濟的廠內廢化學品資源化和綠色化學品方向發展。鋒霈環境科技總經理盧宗隆表示：「自2010年開始，我們就著手研究氟元素回收再利用的技術，並於2012年在台灣、美國、中國申請專利。」

鋒霈環境科技在2017年應台積電邀請加入氟元素資源化評估，並於2021年完成全球第一套在半導體廠內利用氫氟酸廢液轉製冰晶石的系統。同年9月，該公司正式產出冰晶石，落實城市礦山，開創了廢化學品變原料的工業循環。盧宗隆指出：「這項創新技術將氟元素回收再利用，應用於客戶的生產工廠，讓客戶在生產製造端就能實現淨零碳排放。」

創新氫氟酸廢液轉製冰晶石  降低環境風險

鋒霈環境科技成功研發出高效率轉製高濃度氫氟酸廢液，產出高品質冰晶石的系統模組設備。該技術可減少外部清運氫氟酸廢液帶來的環境風險和環保問題，同時降低客戶的廢液處理成本。總經理盧宗隆表示：「冰晶石是一種高值化的產品，可以大幅增加客戶的營收。」以晶圓廠為例，這項技術每年可為晶圓廠創造逾新台幣上億元的經濟效益。

鋒霈環境科技從一開始投入研發到完成全世界首座「氫氟酸廢液轉製冰晶石系統」，整整歷經10年。「起心動念的初衷，是希望透過此技術達到廢棄物減量及資源化，主要目的要幫助客戶降低委外清運成本，但新技術投入巿場初期沒有實蹟，客戶不敢輕易使用，讓開發團隊受到不少打擊。」盧宗隆說。

不過，機會總是留給做好準備的人，鋒霈透過專利的申請，取得經濟部工業局「協助傳統產業技術開發計畫（CITD）」的經費協助製作測試原型機台，終於在2017年獲得台積電邀請加入資源化評估，讓「氫氟酸廢液轉製冰晶石」技術被看見，最終通過了一連串高規格測試及供應商評選。一路走來，鋒霈環境科技的創新精神始終如一，因為堅持，才得以嘗到成功的果實。

值得一提的，鋒霈環境科技於2017年參與半導體設備和材料工業協會(SEMI)半導體展，於循環經濟專區展出「氫氟酸廢液轉製冰晶石設備」，冰晶石產品純度高達96%，符合高標準產品規格（CM0）；2021年9月成功於晶圓廠啟用全世界首座「氫氟酸廢液轉製冰晶石系統」；2021年12月行銷冰晶石，市場包括台灣、中國、印度、阿拉伯等國家，落實城巿採礦。

以資源循環取代傳統混凝沉澱法  獲大廠青睞

隨著全球環境議程的崛起，鋒霈環境科技以其獨特的技術特點嶄露頭角，將資源循環引入半導體製造，以取代傳統的混凝沉澱法。這不僅符合半導體產業積極發展廢棄物減量政策的努力，更為環保事業帶來了多重益處。據經濟部於2022~2023年間發表的產業技術白皮書顯示，台灣高科技產業每年產出約8.3萬噸的廢棄氫氟酸相關衍生物，對於這龐大的處理需求，傳統方法已難以應付。然而，鋒霈環境科技的相關技術已成功應用於許多國際知名企業，並計劃於2023年擴大導入，旨在實現目標減廢4.6萬噸／年，年產冰晶石1.2萬噸。這些成果不僅為半導體產業帶來實質效益，還具有在其他相關產業推廣的巨大潛力。

獲環保署綠色化學應用及創新獎肯定，並於半導體展獲廣大迴響

鋒霈環境科技的氫氟酸廢液轉製冰晶石技術於2023年度獲得行政院環境保護署「綠色化學應用及創新獎」之肯定，為團體組中唯一獲獎之中小企業，並受邀參加SEMICON Taiwan 2023國際半導體展之創新技術發表會、新竹科學園區管理局主辦之「產官學研交流會」進行技術發表，皆獲得廣大迴響。

展望未來，鋒霈環境科技將堅守「廢棄物減量及資源化」的理念，持續致力於專業技術的研發，並將「減碳、節水、再利用」作為永續發展政策的核心。鋒霈環境科技的不懈努力將使其成為各行各業實現環境、社會、治理（ESG）永續發展目標的理想合作夥伴。無論是在環保還是企業可持續發展方面，鋒霈環境科技都值得密切關注。