資騰科技於Semicon China 2024 展現ESG創新力 推出優化半導體製程產品

佳世達集團羅昇企業旗下資騰科技（Standard Technology Corporation）參加Semicon China 2024展覽，展示多項協助優化半導體製程的創新產品，如超潔淨金屬氣體過濾器、超高精度光阻塗佈泵等。

資騰科技總經理陳國榮表示，因應全球ESG、第三代半導體等趨勢需求，2024年資騰科技將展示一系列針對半導體製造產業的創新產品，旨在提高製程效率、減少環境負荷，並支援產業的永續發展。以下是其中幾項亮點產品：

超潔淨金屬氣體過濾器:次世代奈米工廠必備，金屬燒結微米級不鏽鋼（SUS 316L）短纖維製成薄層金屬膜過濾器，皺褶狀設計增加過濾面積。Load lock chamber排氣過濾而設，縮短排氣時間，提高機台5~8%的稼動率。

超高精度光阻塗佈泵:適用於半導體黃光製程光阻塗佈，以及其他需要精準控制藥液噴吐量的應用場景，幾乎零藥液浪費，可與半導體設備（如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等）匹配使用。提供氣缸式和馬達式控制，穩定性高且壽命長，資騰提供在地即時服務支援。

非接觸型渦漩式吸筆: 資騰自主研發，利用伯努利原理吸取薄片晶圓或是光學元件，避免晶圓或是光學元件表面刮傷，提高晶圓傳送效率和穩定性。具有客製化和價格優勢，目前已有SiC與光學元件廠客戶銷售實績。

資騰充分考量中國市場特性和全球趨勢，針對ESG、第三代半導體、新建晶圓廠、設備本土化等領域提出不同的解決方案，通過強大的產業實踐經驗和技術能力，與合作夥伴們攜手，共同促進半導體產業的創新未來。