科技1分鐘：晶圓晃動（wobbling）
- 張庭瑜
晶圓晃動（wobbling）是指晶圓在製程設備中高速旋轉或傳送過程中，出現非理想的偏擺或不穩定運動，通常表現為軸向（axial runout）或徑向（radial runout）方向的微小位移。這類現象多發生於高轉速製程（如旋轉塗佈、清洗、CMP）或高精度定位環節（如曝...
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