中國工信部披露新款本土深紫外光（DUV）曝光機的消息，一時之間，謠傳中國已開發出8奈米曝光機，甚囂塵上。究竟事實為何？與曝光機龍頭ASML差距多大？
緊追ASML腳步？！中國自研DUV曝光機的「虛實」
中國官宣本土曝光機 離28奈米製程還有多遠？
中國曝光機燃眉之急 浸潤式卡關、先進製程走不通
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