Trymax以電漿技術為基礎的蝕刻、去膠與固化製程設備製造商 智慧應用 影音
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Trymax以電漿技術為基礎的蝕刻、去膠與固化製程設備製造商

  • 孫昌華台北

Trymax Semiconductor B.V.是一家專注於先進半導體封裝製程設備的供應商,提供以電漿(Plasma)技術為基礎的蝕刻(Etching)、去膠(Stripping)與固化(Curing)設備。

其產品應用涵蓋乾式去膠(Dry Descum)、去光阻(Ashing)、表面清洗與預處理、輕蝕刻(Light Etching)、以及紫外光(UV)光阻固化與電荷消除等多種製程。Trymax也生產UV固化設備,特別聚焦於化合物半導體製程,廣泛應用於製造寬能隙功率半導體元件,例如碳化矽(SiC)與氮化鎵(GaN),以及通訊功率放大器(PA)等關鍵元件的製程中。

Trymax成立逾25年,在台灣市場擁有穩固的客戶基礎與品牌知名度。本次參加Semicon Taiwan 2025,主要目標是推廣產品與深化客戶關係。Trymax的產品線支援從100mm到300mm的晶圓尺寸,其客戶遍布台海兩岸,為功率放大器與射頻元件製造商的重要供應商之一。在全球範圍內,Trymax於晶圓代工(Foundries)、整合元件廠(IDM)、與晶圓級封裝(WLP)廠皆擁有顯著市佔率,終端應用涵蓋功率半導體、汽車電子、MEMS、LED與CMOS等領域。

Trymax的NEO系列電漿乾式去膠系統適用於半導體產業中的清洗與活化製程,具備高效率、高均勻性及優異的重複性。該系統採用射頻與微波電源,在真空環境下產生高能量、無序狀態的電漿,能夠處理多種尺寸的基板,並提供多樣化製程技術以滿足不同應用需求。

Trymax持續創新以支援客戶發展,不僅應用於化合物半導體,也廣泛應用於MEMS微機電系統、微流體裝置、SOI基板製造、先進封裝及光電顯示等領域。目前NEO系列系統的全球裝機量已超過300套,展現其在電漿製程設備領域的成熟技術與市場領導地位。