Fastmicro物體表面粒子瑕疵檢測系統與無塵室潔淨偵測設備商

Fastmicro是一家成立超過15年專注於物體表面粒子瑕疵檢測系統設備商，包含樣本表面粒子瑕疵掃描、粒子沉積量測儀，以及用在諸如化合物半導體晶圓、玻璃晶圓、光罩、EUV/DUV光罩護膜（Pellicle）的粒子瑕疵檢測系統等主要產品線。該公司的技術最小檢測粒子顆粒可達100奈米尺寸。提供半自動／全自動操作模式，檢測速度高達400 WPH（wafer per hour），並能提供符合ISO標準或PDF格式的檢測數據報告。

該公司成立之初是與荷蘭應用科學研究組織（TNO）合作開發與研究物體表面粒子檢測技術，包含分析軟體、線上缺陷檢測系統、可攜式掃描儀及整合模組。由於半導體前端製程廠房與無塵室中的潔淨等級對先進半導體製程的穩定度與良率非常重要，檢測微小粒子對半導體前端製程廠房與無塵室的營運需求有重大的影響，因為微小粒子的成分非常多元，所以Fastmicro的檢測儀可以扮演一個積極的角色。

由於該公司的設備具備檢測速度快的優勢，通常只要十秒鐘就可以完成表面粒子瑕疵檢測，獲得客戶的青睞與肯定。該攤位展示的設備約是一台家用微波爐的大小，操作時需要使用一個檢測棒或採樣工具針對物件表面擦拭取樣，然後放進檢測儀內讀取粒子數量，Fastmicro遵循NIST標準使用PSL（Polystyrene latex聚苯乙烯乳膠材質）材料來做校正與衡量微小粒子的技術。並提供機台OEM模組化設計的生意模式，提供給精密半導體設備機客戶的靈活整合的能力，提供能夠涵蓋大範圍掃描與多種檢測的需求。

該公司從2022年開始擴展國際業務的版圖，這次參加Semicon Taiwan 2025除了主要的晶圓廠客戶接觸之外，現在還進軍到半導體機台設備製造供應鏈，因為半導體設備機台組裝時，要先確認零組件也合乎產品潔淨等級的條件後，才能逐步進入組裝，每一個製造環節需要確認粒子瑕疵檢測合乎標準的要求，所以粒子瑕疵檢測系統與設備有強大的商機，這是目前是該公司主要在台灣擴展的市場機會。